ECTS
6 crédits
Composante
INSA Hauts-de-France
Objectifs
Au terme de cette UE, les étudiants seront capables de :
1) décrire les principales propriétés des matériaux et procédés technologiques utilisés pour la fabrication des systèmes micromécatroniques
2) d'analyser le fonctionnement de ces systèmes multiphysiques
3) d'énumérer l'ensemble des techniques de modélisation multiphysique reposant sur une approche à paramètres localisés et/ou distribués
4) faire le choix au niveau de la modélisation entre une approche à paramètres localisés et une approche à paramètres distribués
5) d'utiliser l'une ou l'autre des approches pour concevoir et simuler le comportement de systèmes mécatroniques, incluant éventuellement des fonctions optiques
6) d'évaluer et d'interpréter la pertinence des résultats obtenus compte tenu des hypothèses de modélisation
7) Connaitre les technologies de dépôts et structuration de couches minces ;
8) Développer des procédés de micro/nano-fabrication adaptés pour la réalisation de microsystèmes
Pré-requis obligatoires
Analyse multiphysique des systèmes mécatroniques
Bibliographie
Lyshevski, S. E. (2013). MEMS and NEMS: systems, devices, and structures. CRC Press.
Kaajakari, V. (2009). Practical MEMS: Design of microsystems, accelerometers, gyroscopes, RF MEMS, optical MEMS, and microfluidic systems. Las Vegas, NV: Small Gear Publishing.
Korvink, J., & Paul, O. (2010). MEMS: A practical guide of design, analysis, and applications. Springer Science & Business Media.
Pelesko, J. A., & Bernstein, D. H. (2002). Modeling Mems and Nems. CRC press.
Petermann, K,. (1991) Lase diode modulation and noise. Springer.